Сверхпрецизионные подшипники для эллипсометрической аппаратуры по индивидуальному заказу разработал производитель подшипников Barden. Комплект кастомизированных подшипников состоит из двух радиально-упорных тонкосекционных двухрядных подшипников в корпусе. Подшипниковый узел полностью готов к установке в эллипсометрическое оборудование, предназначенное для проверки целостности тонкопленочного покрытия накопителей на жестких магнитных дисках.
Перед производителем подшипников Barden была поставлена нелегкая задача – неоднократные поломки прежде установленных подшипников в поворотном столе, на котором установлено оборудование, существенно затрудняли процесс проверки. Подшипники являлись стандартными тонкосекционными преднагруженными, однако не удавалась подобрать оптимальную начальную нагрузку и начальный вращающий момент был слишком велик. Инженеры Barden смогли создать такую конструкцию подшипника из нержавеющей стали, которая обладает малым вращающим моментом и возможностью точного перемещения. В состав подшипника входят специальные торроидальные PTFE сепараторы. Внешний диаметр подшипника 28,5 мм, ширина – 9 мм, диаметр отверстия – 19 мм. Так как эксплуатация подшипникового узла производится при малых скоростях, то в подшипник предварительно специальная заложена смазка.
Эллипсометрия широко используется для прецизионного контроля тонкопленочных структур с субнанометровым разрешением. Эллипсометрические приборы измеряют амплитудно-фазовые изменения поляризованной отраженной световой, формируемой в тонком приповерхностном слое исследуемого вещества. Измерительная эллипсометрическая техника для неразрушающего контроля технологических процессов на разных его этапах должна обладать высоким быстродействием и точностью измерений, легко встраиваться в технологические установки, стоимость аналитического оборудования с сохранением его функциональных свойств так же должна быть невысока. Именно поэтому обращение к опыту производителя тонкосекционных прецизионных подшипников Barden азиатского производителя техники было оправдано и принесло хорошие результаты. (www.podshipnik.ru/Машиностроение Украины, СНГ, мира)