Несмотря на застойные и даже кризисные процессы в полупроводниковой отрасли, спрос на сканеры диапазона EUV неизменно высокий второй год подряд. Более того, сканеры EUV теперь востребованы не только для выпуска чипов с нормами 7 и 5 нм, но также для производства памяти.
Нидерландская компания ASML отчиталась о работе в четвертом квартале 2019 г. и сообщила о растущем числе заказов на сканеры диапазона EUV с длиной волны 13,5 нм. В течение всего 2019 г. заказчикам было поставлено 26 сканеров EUV, а на 2020 год собрано 35 заказов на эти машины. Спрос на новые сканеры опережает развитие отрасли в целом. Так, если в 2019 г. рынок оборудования для выпуска полупроводников сократился на 8-10%, то выручка ASML за это же время выросла на 8%, за что компания благодарит спрос на сканеры EUV.
В 2019 г. ASML выручила 11,8 млрд. евро. За все виды сканеров она получила 8,996 млрд. евро. В совокупности ASML продала 229 установок. Из этого числа 26 сканеров EUV принесли компании 31% выручки или 2,8 млрд. евро. Нетрудно сообразить, что сканеры EUV становятся новой дойной коровой ASML. Год 2019 стал первым годом массового производства и спроса на эти системы, а выросшее число заказов на поставку в 2020 г. на уровне 35 штук лишь подтвердило тот факт, что эра EUV-производства началась.
В конце 2019 г. ASML приступила к поставкам новых моделей сканеров EUV – NXE:3400C. Они немного производительнее предыдущих установок NXE:3400B. Ориентировочно в 2019 г. поставлено 17 сканеров NXE:3400B и 9 сканеров NXE:3400C. При этом установки NXE:3400B и предыдущие модели могут быть модернизированы до более совершенных версий, что повысит их производительность. Например, компания рассчитывает повысить время работы ранее выпущенных сканеров EUV до 90%. Традиционные 193-нм сканеры DUV, например, работают в течение более чем 98% рабочего времени.
В 2021 г. компания ASML рассчитывает выпустить от 45 до 50 сканеров EUV. В то же время исторически она снижала объемы годового производства, что связано с предельно сложным производством установок. Например, в четвертом квартале 2019 г. ASML задержала поставки четырех сканеров, выпуск которых перенесен на первый квартал 2020 г. Поэтому аналитики считают, что если в 2021 г. ASML сможет выпустить хотя бы 40 сканеров EUV, то это будет более чем хорошо. Особенно с той позиции, что в 2021 г. и TSMC и Intel планируют начать массовое производство 5-нм и, соответственно, 7-нм чипов с углубленным использованием сканеров EUV.
А еще к этому надо добавить то, что производители памяти DRAM уже в этом году начинают использовать сканеры EUV для выпуска памяти. Все это подводит нас к тому, что сканеры EUV раскупаются как горячие пирожки зимой, а выпускает их всего одна компания в мире. Случись что с ASML или ее поставщиками, мало никому не покажется. (3dnews.ru/Машиностроение Украины и мира)